Defnyddir cynfasau mica a swbstradau ceramig inswleiddio yn eang fel cludwyr inswleiddio ar gyfer modiwlau batri ynni newydd, sglodion lled-ddargludyddion pŵer a chydrannau trydanol foltedd uchel. Mae'r deunyddiau hyn yn cynnwys anhyblygedd mecanyddol isel, brau uchel a sensitifrwydd eithafol i bwysau malu unochrog; mae prosesu ag ochrau sengl yn sbarduno cracio'r swbstrad yn hawdd, naddu ymyl a warpage difrifol ar ôl rhyddhau straen. Mae offer lapping traddodiadol yn dioddef trwybwn isel ac unffurfiaeth trwch ansefydlog ar gyfer sypiau swbstrad torfol, tratoddiannau malu ochr dwbl wedi'u haddasu-gymhwyso grym deugyfeiriadol cytbwys i gwblhau holltau-gorffeniad manwl gywir o swbstradau inswleiddio bregus.
Yr her brosesu fwyaf ar gyfer insiwleiddio swbstradau nad ydynt yn fetel yw osgoi difrod mecanyddol wrth dynnu deunydd. Mae platiau cyfansawdd mica a bylchau ceramig alwmina yn cracio o dan gywasgiad ochr sengl anwastad; straen malu anghymesur yn creu afluniad gwastadrwydd parhaol sy'n difetha ffit cynulliad inswleiddio trydanol.Mae disgiau malu gwrthgyferbyniol deuol yn dosbarthu grym cywasgu ysgafn union yr un fath ar y ddau arwyneb swbstrad ar yr un pryd, gan wrthweithio cronni straen mewnol wrth dynnu deunydd a dileu anffurfiad plygu ar ôl prosesu.Mae systemau rheoli hydrolig dolen gwasgedd isel yn addasu pwysau malu yn ddeinamig yn seiliedig ar drwch swbstrad, gan atal cywasgu gormodol ar swbstradau tenau uwch na 1mm o dan 1mm.
Mae paru deunydd olwyn sgraffiniol arbenigol yn atal crafu wyneb y swbstrad a thorri ymylon.Defnyddir olwynion malu diemwnt bond resin meddal gyda graean rhwyll mân 600-1200 yn unig ar gyfer prosesu mica a serameg, gan sicrhau bod stoc unffurf yn cael ei dynnu heb ymylon torri grawn sgraffiniol miniog sy'n naddu ymylon swbstrad brau. Mae disgiau sgraffiniol caled bras a ddefnyddir ar gyfer rhannau metel yn gwbl anaddas ar gyfer inswleiddio swbstradau, gan fod eu grym torri anhyblyg yn achosi craciau micro sy'n anweledig i lygaid noeth sy'n niweidio perfformiad inswleiddio trydanol o dan amodau gwaith foltedd uchel. Mae gwisgo olwyn ysgafn cyfnodol yn cynnal arwynebau sgraffiniol gwastad ar gyfer gorffeniad swbstrad cyson ar draws sifftiau cynhyrchu hir.
Mae cludwyr bwydo llaithedig sy'n dirgrynu personol yn datrys symud swbstrad tenau a chracio yn ystod cludiant.Mae gwahanyddion gosodiadau silicon meddal anfetelaidd yn dal swbstradau unigol heb bwyntiau cyswllt metel caled sy'n crafu arwynebau inswleiddio. Mae moduron bwydo servo cyflymder isel yn lleihau'r grym effaith pan fydd swbstradau'n mynd i mewn i'r bwlch malu, wedi'u paru â chwistrell oerydd gwrth-statig i ddileu cronni gwefr sefydlog sy'n denu llwch ceramig mân ac yn achosi halogiad arwyneb. Mae cyflau echdynnu llwch aml-gam yn dal mica ysgafn a phowdr ceramig i gynnal amgylcheddau gweithdy glân sy'n cydymffurfio â safonau allyriadau diwydiannol yr UE.
Mae unffurfiaeth trwch manwl gywir yn gwarantu perfformiad inswleiddio trydanol sefydlog yn uniongyrchol ar gyfer swbstradau gorffenedig.Mae paraleliaeth gyson o fewn ±0.002mm yn dileu bylchau cydosod rhwng swbstradau a sglodion pŵer, gan atal gollyngiadau rhannol a risgiau cylched byr mewn-cyfarpar electronig foltedd uchel. Mae unedau archwilio trwch laser digyswllt ar-lein wedi'u gosod ar ôl i orsafoedd malu yn gwahanu swbstradau anwastad diffygiol yn awtomatig, gan leihau cyfraddau sgrap gorffenedig i lai na 1.8% ar gyfer cynhyrchu màs parhaus o gydrannau inswleiddio electronig.
Ar gyfer gweithgynhyrchwyr ynni newydd ac electronig sy'n cynhyrchu swbstradau insiwleiddio mica bregus a seramig, mae malu ochr dwbl â straen isel yn dod yn broses orffen craidd anadnewyddadwy. Gosod arbenigolpeiriant malu disg dwblgyda-modiwlau sgraffinio addasol a rheoli pwysau cerameg yn dileu cracio swbstrad a diffygion warpage sy'n gyffredin â- phrosesu unochrog. Mae systemau bwydo meddal wedi'u teilwra a systemau malu-pwysedd isel yn cadw perfformiad inswleiddio cyfan ar gyfer pob swbstrad sy'n cael ei orffen gan offer malu ochr dwbl.
